对于材料特性测试,我不知道如何应用扫描电子显微镜的原理

来源:纳米氧化铝_广西新兴纳米科技研究公司 发布时间:2019-04-02 点击次数:

     扫描电子显微镜(SEM)在材料领域发挥着极其重要的作用。它可直接用于研究晶体缺陷及其形成过程。它可以观察金属材料中原子的聚集模式及其真实边界。它还可以观察边界在不同条件下的运动模式。还可以检测晶体在表面机械加工、损伤等过程中造成的损伤和辐射损伤。
    
     扫描电子显微镜大致可分为镜体和电源电路两部分,镜体由电子光学系统、信号采集显示系统和真空抽运系统组成。
    
     它由一个电子枪、一个电磁透镜、一个扫描线圈和一个样品室组成,其功能是获得作为信号激励源的扫描电子束,为了获得更高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有更高的亮度和更小的束斑直径。e.
    
     对样品在入射电子作用下产生的物理信号进行检测,然后通过视频放大,作为成像系统的调制信号,目前电子探测器得到了广泛的应用。它由闪烁体、光学管和光电倍增管组成。
    
     供电系统由电压稳定、电流稳定和相应的安全保护电路组成。其功能是提供扫描电子显微镜各部分所需的电源。
    
     扫描电子显微镜(SEM)由电子枪发射的电子束组成。在加速电压作用下,电子束通过磁透镜系统会聚,形成直径为5纳米的电子光学系统。经过两个或三个电磁透镜后,电子束会聚成一个聚焦在样品表面的薄电子束,在最终透镜的上侧安装一个扫描线圈,在扫描线圈的下面对样品表面的电子束进行扫描,由于高能电子束与样品材料的相互作用,产生了各种信息:二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子。
    
     这些信号被相应的接收器接收、放大并发送到显象管的栅极,以调节显象管的亮度。因为扫描线圈上的电流对应于显象管的亮度,也就是说,当电子束击中样品上的一个点时,SC上会出现一个亮点。显像管的再曝光。这样,扫描电子显微镜(SEM)利用逐点成像的方法,将样品表面的不同特征按比例转换成视频信号,以完成一帧图像,从而在荧光屏上观察样品表面的各种特征图像。
    
     被入射电子束轰击并离开样品表面的核外电子称为次级电子。这是真空中的自由电子。次级电子通常在表面5-10纳米的深度范围内发射。它们对样品的表面形态非常敏感。因此,它们能很好地显示样品的表面形貌,二次电子的产率与原子序数之间没有明显的相关性,因此不能用于组分分析。


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