中国超精密光学零件加工技术已进入世界领先行列

盛京棋牌官网来源:纳米氧化铝_广西新兴纳米科技研究公司 发布时间:2019-05-15 点击次数:

     长沙,1月22日,军报记者(王少文,王晓红,王东,解放军报社记者)今天从国防科技大学获悉,由机电工程学院自主研发的新一代超精密光学零件加工设备,以及大学自动化化学通过了相关单位组织的工艺评定,结果表明,该套设备的加工精度在亚纳米级上取得了突破。典型光学零件表面精度的均方根值达到0.361纳米,标志着我国超精密光学零件加工技术已进入世界领先水平。
    
     超精密加工技术是先进设备制造中的关键瓶颈技术,纳米精度被称为超精密加工技术之冠上的明珠,过去由于我国光学零件加工技术落后,无法加工大口径、高精度、高精度的光学零件。d、复杂光学零件,严重制约了相关领域的技术进步,80年代以来,在李胜义教授的领导下,大学精密工程创新团队在高精度机床精密运动机构设计等关键技术上取得了一系列突破。OOLS,高效磁流变抛光液的制备,离子束稳定性控制,光学元件亚纳米全波段误差控制,经过30多年的顽强拼搏和自主创新,开发出一系列自主知识产权。磁流变(MR)和离子束抛光。Ing(IBP)设备打破了发达国家对超精密加工设备的技术封锁,使我国成为继美国和德国之后,完全掌握了两种高精密光学零件MR和IBP设备加工技术的国家。
    
     近年来,学院精密工程创新团队在国家大型集成电路制造设备重大科技项目二期的支持下,成功研制出新一代离子束抛光机床和数控光抛光机床。国家自然科学基金资助项目。可控材料的最小去除量达到0.1纳米,相关专家指出,这一自主创新成果可以为国家大型集成电路制造设备、全过程、高分辨率等重大科技项目提供强有力的技术支持和设备支持。离子地球观测系统等,将直接推动相关领域的关键技术突破,对提升我国先进装备制造水平具有重要意义。
    
    


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